著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
目黒 多加志 and 青柳 克信,ＩＩＩ‐Ｖ族化合物半導体材料の表面精密加工技術（原子層エピタキシー）,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,1993,36,2,73-80,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204065045760,https://doi.org/10.3131/jvsj.36.73