著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 岩見 基弘 and 平井 正明 and 日下 征彦 and 中村 初夫 and 河合 政夫 and 副島 啓義 and 渡部 宏邦,軟X線分光法とシリコン化合物・薄膜系,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,1990,33,11,848-853,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204065284736,https://doi.org/10.3131/jvsj.33.848