著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
中村 安雄 and 長友 克明 and 染矢 和夫 and 北山 尚男,１３ｍφスペースチャンバの真空排気システム,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,1990,33,9,738-746,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204065329280,https://doi.org/10.3131/jvsj.33.738