著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 松本 浩介 and 小椋 満 and 葛原 宏治 and 岸田 悟 and 水谷 剛 and 吉川 英樹 and 福島 整 and 徳高 平蔵,Heガスを用いたBi2Sr2Can-1CunOyスパッタ薄膜の組成制御,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,2002,45,3,297-300,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204065332608,https://doi.org/10.3131/jvsj.45.297