著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
下田 高広,真空技術と地球環境 ドライエッチング装置における地球温暖化ガス削減の取り組み,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,1999,42,11,964-967,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204065342592,https://doi.org/10.3131/jvsj.42.964