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久松 広美 and 嶋本 真幸 and 金澤 健一 and 石丸 肇,カートリッジＮＥＧ（Ｓｔ１０１Ｚｒ‐Ａｌ）特性,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,1990,33,12,934-939,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204065434240,https://doi.org/10.3131/jvsj.33.934