著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
前羽 良保 and 山川 洋幸,真空におけるダストフリー技術,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,1990,33,12,909-915,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204065438592,https://doi.org/10.3131/jvsj.33.909