著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
斎藤 功夫,超臨界二酸化炭素による洗浄技術,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,2000,43,6,654-659,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204065611904,https://doi.org/10.3131/jvsj.43.654