著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
石橋 啓次,企業から見たスパッタリング技術の進展と今後への期待,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,2007,50,1,9-14,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204067546496,https://doi.org/10.3131/jvsj.50.9