著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 野田 敏男 and 中山 永一,SiOについて,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,1964,7,5,162-165,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204068141312,https://doi.org/10.3131/jvsj.7.162