著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 牛川 治憲,ガスと表面処理 CVDとガス,表面技術,09151869,一般社団法人 表面技術協会,1998,49,6,547-551,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204113640192,https://doi.org/10.4139/sfj.49.547