著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
式田 光宏,シリコンエッチング技術 （１） シリコン半球による結晶異方性エッチングの加工特性評価,表面技術,09151869,一般社団法人 表面技術協会,2000,51,8,773-779,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204114082432,https://doi.org/10.4139/sfj.51.773