著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 牧野 英司 and 柴田 隆行 and ALLEN David M.,マイクロアクチュエータ形成のための形状記憶合金圧延シート材の電解フォトエッチング,表面技術,09151869,一般社団法人 表面技術協会,1998,49,8,887-893,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204115223040,https://doi.org/10.4139/sfj.49.887