著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
江刺 正喜 and 小野 崇人 and 田中 秀治,シリコンエッチング技術 ２ シリコンエッチング技術のアプリケーション,表面技術,09151869,一般社団法人 表面技術協会,2000,51,9,874-879,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204115240576,https://doi.org/10.4139/sfj.51.874