著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
藤田 博之,シリコンエッチング技術 ２ マイクロアクチュエータ,表面技術,09151869,一般社団法人 表面技術協会,2000,51,9,892-898,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204115242624,https://doi.org/10.4139/sfj.51.892