著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
式田 光宏,最新のエッチング技術とモノづくり エッチング技術を駆使した微細なモノづくり,表面技術,09151869,一般社団法人 表面技術協会,2008,59,2,84-87,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204118949504,https://doi.org/10.4139/sfj.59.84