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畝田 道雄 and 早川 光祐 and 澁谷 和孝 and 中村 由夫 and 市川 大造 and 石川 憲一,両面同時研磨における上定盤研磨パッド表面性状測定装置の開発と研磨特性の評価,砥粒加工学会誌,09142703,社団法人 砥粒加工学会,2017-07-01,61,7,385-391,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204333655552,https://doi.org/10.11420/jsat.61.385