著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
糸井 賢一,先端の半導体製造プロセスに用いられるエアロゾル洗浄技術,エアロゾル研究,09122834,日本エアロゾル学会,2007,22,1,11-13,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204343121280,https://doi.org/10.11203/jar.22.11