著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 加藤 俊正 and 星 重行 and 野口 俊彦 and 中馬 高明,気相分解/誘導結合プラズマ質量分析法を用いたシリコンウェハー表面金属分析による超純水水質評価,分析化学,05251931,公益社団法人 日本分析化学会,2010,59,7,559-563,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204355074944,https://doi.org/10.2116/bunsekikagaku.59.559