著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 小林 一三,MOCVD法によるTa2O5薄膜作製用原料としての高純度[Ta(dpm)4]Clの合成,日本化学会誌(化学と工業化学),0369-4577,公益社団法人 日本化学会,1992-12-10,1992,12,1515-1517,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204390054272,https://doi.org/10.1246/nikkashi.1992.1515