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宮本 泰治 and 鴨志田 隼司 and 山田 純,マランゴニ乾燥におけるウェーハ上残留液滴の乾燥過程とその制御,日本伝熱学会論文集,09189963,社団法人 日本伝熱学会,2010,18,2,83-91,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204414748672,https://doi.org/10.11368/tse.18.83