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守谷 浩志 and 岩崎 富生 and 保川 彰夫 and 三浦 英生,分子動力学法を用いたＳｉ薄膜真性応力と微細構造の解析,日本機械学会論文集Ａ編,03875008,一般社団法人 日本機械学会,1997,63,613,1999-2005,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204447876864,https://doi.org/10.1299/kikaia.63.1999