著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 大平 竜也,プラズマCVD中入射イオンエネルギーのa‐Si:H膜表面への影響に関する分子動力学解析,日本機械学会論文集A編,03875008,一般社団法人 日本機械学会,1997,63,613,2006-2010,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204447877760,https://doi.org/10.1299/kikaia.63.2006