著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 倉増 敬三郎 and 是近 哲広 and 坂口 誠一郎 and 北川 雅俊 and 平尾 孝,プラズマCVDにより作製したSi‐B‐N膜の電気的,機械的特性,日本機械学会論文集A編,03875008,一般社団法人 日本機械学会,1996,62,604,2645-2650,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204448366720,https://doi.org/10.1299/kikaia.62.2645