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大西 一功,探訪「MEMS研究最前線」 : 東京大学生産技術研究所 藤田博之教授研究室,日本信頼性学会誌 信頼性,09192697,日本信頼性学会,2005,27,2,122-126,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204453126656,https://doi.org/10.11348/reajshinrai.27.2_122