著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
岡 徹 and 仲嶋 一 and 中島 利郎 and 清野 慧 and ホレンバック ウベ and ワラベ ウルリケ and モーア ユルゲン,マイクロマシニング技術を用いた光学式距離センサ,電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）,13418939,一般社団法人 電気学会,2005,125,7,319-325,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204459982976,https://doi.org/10.1541/ieejsmas.125.319