著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 花井 計 and 田村 喜朗 and 松本 佳宣,高アスペクト比立体形状への配線パターン露光法の開発,電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌),1341-8939,一般社団法人 電気学会,2005,125,6,280-281,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204459998720,https://doi.org/10.1541/ieejsmas.125.280