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竹井 裕介 and 大堀 敬広 and 高畑 智之 and 菅 哲朗 and 岩瀬 英治 and 松本 潔 and 下山 勲,開口マスクによるシリコン３次元斜面形状の作製,電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）,13418939,一般社団法人 電気学会,2010,130,5,182-187,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204460011776,https://doi.org/10.1541/ieejsmas.130.182