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村上 修一 and 井上 幸二 and 鈴木 義彦 and 高松 繁男 and 山下 馨 and 奥山 雅則,PZT圧電体膜を用いた異常音検知マイクロセンサの作製とその評価,電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）,13418939,一般社団法人 電気学会,2004,124,4,143-147,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204460041216,https://doi.org/10.1541/ieejsmas.124.143