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田中 宏幸 and 小木曽 久人 and 中野 禅 and 速水 利泰 and 宮崎 俊也 and クンプアン ソマワン and 原 史朗,ミニマルエッチング装置を用いたボッシュプロセスにおけるスキャロップの低減化,電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）,13418939,一般社団法人 電気学会,2016,136,12,499-504,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204460117888,https://doi.org/10.1541/ieejsmas.136.499