著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
川田 博昭 and 安田 雅昭,イメージリバーサルレジストを犠牲層とした付着の少ない表面マイクロマシン作製プロセス,電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）,13418939,一般社団法人 電気学会,2004,124,3,69-74,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204460374144,https://doi.org/10.1541/ieejsmas.124.69