著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 壷井 修 and 高馬 悟覚 and 西野 琢也,エアロゾル充填によるセンサ用マイクロ熱電変換素子の高熱抵抗化,電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌),13418939,一般社団法人 電気学会,2014,134,7,218-223,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204460519808,https://doi.org/10.1541/ieejsmas.134.218