著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 古谷 充宏 and 藤原 茂美 and 木村 光照,SOI基板上マイクロヒータを用いた超小型熱分析センサ,電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌),13418939,一般社団法人 電気学会,2002,122,4,207-211,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204461400448,https://doi.org/10.1541/ieejsmas.122.207