著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
大和田 邦樹 and 田中 克彦 and 久保 竜一,センサ・アクチュエータ用無機機能性薄膜プロセス技術,電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）,13418939,一般社団法人 電気学会,1997,117,10,497-500,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204461401856,https://doi.org/10.1541/ieejsmas.117.497