著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
鹿又 学 and 松本 佳宣,グレイスケールマスクを用いたガラスの三次元微細加工技術,電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）,13418939,一般社団法人 電気学会,2002,122,11,531-536,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204461416192,https://doi.org/10.1541/ieejsmas.122.531