著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
遠山 修 and 前田 重雄 and 阿部 一博 and 村山 学,マイクロ検査技術の開発,電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）,13418939,一般社団法人 電気学会,2002,122,2,59-66,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204461421696,https://doi.org/10.1541/ieejsmas.122.59