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Harada Takeshi and Yoshimura Yasuhiro and Kouno Akiomi,High-output micro-trochoid pump fabricated by a surface treatment technique,電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）,13418939,一般社団法人 電気学会,2002,122,2,73-77,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204461422848,https://doi.org/10.1541/ieejsmas.122.73