著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
鈴木 健一郎 and 谷川 紘,シリコン加速度センサの開発の流れ,電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）,13418939,一般社団法人 電気学会,1996,116,7,252-255,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204461670400,https://doi.org/10.1541/ieejsmas.116.252