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吉田 幸久 and 熊谷 宗人 and 市川 淳一 and 焦 継偉 and 堤 和彦,シリコン/ガラス構造におけるDeep-RIEプロセスの開発,電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）,13418939,一般社団法人 電気学会,2002,122,8,391-397,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204461922944,https://doi.org/10.1541/ieejsmas.122.391