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石井 雄大 and 中田 陽介 and 時実 悠 and 瀧田 佑馬 and 金森 義明 and 南出 泰亜 and 羽根 一博,THz波用MEMS駆動ワイヤグリッド偏光子の製作と光学特性評価,電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）,13418939,一般社団法人 電気学会,2017,137,11,407-414,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204462051968,https://doi.org/10.1541/ieejsmas.137.407