著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
Kawashima Kenta and Makino Eiji and Mineta Takashi,Fabrication of Narrow-gapped Dual Si AFM Tips by Mechanically Polishing-back for Selective Trench Sidewalls Protection,電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）,13418939,一般社団法人 電気学会,2014,134,4,74-78,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204462082816,https://doi.org/10.1541/ieejsmas.134.74