著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
松村 武 and 江刺 正喜 and 原田 博司 and 田中 秀治,高周波MEMSのためのルテニウム微小電極パターンの作製法,電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）,13418939,一般社団法人 電気学会,2012,132,4,71-76,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204462107776,https://doi.org/10.1541/ieejsmas.132.71