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池田 英広 and 井奥 淳 and 藤田 孝之 and 前中 一介 and 前田 宗雄,MEMS材料としてのNi-W合金メツキ膜,電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）,13418939,一般社団法人 電気学会,1999,119,11,598-603,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204462611968,https://doi.org/10.1541/ieejsmas.119.598