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土谷 茂樹 and 鈴木 清光 and KLOECK Ben and 三木 政之 and 松本 昌大 and 佐藤 一雄 and 小出 晃,PWM静電サーボ式加速度センサにおける質量部の挙動解析,計測自動制御学会論文集,04534654,公益社団法人 計測自動制御学会,1993,29,3,288-294,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204500676608,https://doi.org/10.9746/sicetr1965.29.288