著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 野中 昂平 and 柏原 稔樹 and 鈴木 健司 and 高信 英明 and 三浦 宏文,MEMS技術を利用した気流センサの研究,計測自動制御学会論文集,04534654,公益社団法人 計測自動制御学会,2013,49,4,411-416,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204502344448,https://doi.org/10.9746/sicetr.49.411