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石田 康 and 岸野 清孝 and 坂内 正明,半導体製造クリーンルームへの冷熱供給システムのライフサイクルコストと環境負荷最小化,計測自動制御学会論文集,0453-4654,公益社団法人 計測自動制御学会,2006,42,10,1168-1174,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204504146560,https://doi.org/10.9746/sicetr1965.42.1168