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芝田 隼次 and 村山 憲弘 and 長江 賢吾,シリコンウエハー研削廃棄物からのＳｉＣの分離・再生について,化学工学論文集,0386216X,公益社団法人 化学工学会,2006,32,1,93-98,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204508002048,https://doi.org/10.1252/kakoronbunshu.32.93