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安形 行広 and 後藤 洋介 and 高橋 聖司 and 河野 昭彦 and 小池 国彦 and 西山 逸雄 and 嘉本 律 and 堀邊 英夫,プリベーク温度の異なるノボラック系ポジ型レジストの湿潤オゾンによる除去性と化学構造,化学工学論文集,0386216X,公益社団法人 化学工学会,2013,39,2,144-149,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204512311680,https://doi.org/10.1252/kakoronbunshu.39.144