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河野 昭彦 and 矢田 賢司 and 堀邊 英夫 and 太田 裕充 and 柳 基典,溶剤による化学増幅ネガ型ノボラックレジストの除去,化学工学論文集,0386216X,公益社団法人 化学工学会,2010,36,6,589-593,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204513224960,https://doi.org/10.1252/kakoronbunshu.36.589