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松田 良信 and 大友 晃治 and 太田 秀憲 and 藤山 寛,プラズマとスパッタ粒子空間分布の可視化 : プレーナマグネトロン放電からPDP放電まで,映像情報メディア学会技術報告,13426893,一般社団法人 映像情報メディア学会,2000,24.36,0,13-18,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001204524340736,https://doi.org/10.11485/itetr.24.36.0_13